特許

J-GLOBAL ID：200903053415078252

不透明合成石英ガラスから作られる部材の製造法と、この方法によって製造される石英ガラス管

発明者： ウド・ゲルティッヒ ,  ヨハン・ライスト ,  ヴァルトラウト・ヴェルデッカー ,  ヘルムート・レーバー
出願人/特許権者： 信越石英株式会社 ,  ヘレウス・クアルツグラース・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング・ウント・コンパニー・コマンディット・ゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 曾我 道照 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-120924
公開番号（公開出願番号）：特開2001-354438
出願日： 2001年04月19日
公開日（公表日）： 2001年12月25日
要約：

【要約】【課題】 高い化学純度と高い寸法精度を備えた部材、特に薄肉円管または管部を低い費用で生産できる、不透明石英ガラスから作られた部材の製造方法とこのような石英ガラス部材を提供すること。【解決手段】 本発明は、(i)少なくとも部分的に多孔質のSiO2一次粒子凝集物である、圧縮かさ密度0.8g/cm3以上の高純度合成SiO2粒状材料の形の出発材料を用意し、(ii)該粒状材料を型に充填し、溶融工程を通じて不透明石英ガラスに転換し、そして(iii)加熱成形工程で予備成形物を成形する、不透明石英ガラス部材の製造方法である。本方法により製造される石英ガラス管、特に半導体の製造に利用するのに適しているものは、リチウム含有量100重量ppb未満の合成SiO2の粒状材料から成る石英ガラスから作られ、その肉厚が0.5mm〜15mmであることを特徴としている。

請求項（抜粋）：

(a)少なくとも部分的に多孔質のSiO2一次粒子凝集物である、最小圧縮かさ密度0.8g/cm3以上の高純度合成SiO2の粒状材料(31、41、51、61)の形の出発材料を用意する段階と;(b)前記粒状材料(31、41、51、61)を型(2)に導入して、不透明石英ガラスの予備成形物(12)を溶融作製する段階と;そして(c)前記不透明石英ガラスの部材(23)の形成時に、熱成形工程で前記予備成形物(12)を成形する段階と;を含むことを特徴とする、不透明合成石英ガラス部材の製造方法。

IPC (3件)：

C03B 20/00 ,  C03B 19/00 ,  C03B 19/09

FI (4件)：

C03B 20/00 A ,  C03B 20/00 K ,  C03B 19/00 B ,  C03B 19/09

Fターム (2件)：

4G014AG00 ,  4G014AH00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 高純度不透明石英ガラス及びその製造方法並びにその用途
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-164092   出願人：日東化学工業株式会社, 東ソー株式会社, 日本石英硝子株式会社
• 不透明石英ガラスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-111847   出願人：信越石英株式会社
• 特公昭47-001477
  
• 特公昭47-001477