薄膜型電子源、およびそれを用いた表示装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：作田康夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-278127
公開番号（公開出願番号）：特開2001-101965
出願日： 1999年09月30日
公開日（公表日）： 2001年04月13日
要約：

【要約】【課題】電子放出効率の高く、スペーサを立てやすい薄膜電子源マトリクスを得、高輝度、高画質、高歩留まりの表示装置を得る。【解決手段】上部バス電極15、16上に、電子放出部と、上部電極13と上部バス電極との接触部に開口部を有する絶縁体からなるパシベーション膜17を形成する。

請求項（抜粋）：

行(または列)方向に設けられる複数の下部電極と、前記下部電極上に形成される電子放出部の絶縁層と、前記電子放出部を制限する前記絶縁層より厚い保護絶縁層と、前記電子放出部を被覆する上部電極と、列(または行)方向に設けられ、前記上部電極の給電線となる上部バス電極を有する薄膜型電子源であって、前記電子放出部と、前記上部電極が前記上部バス電極と接触する部分が開口した絶縁体からなるパシベーション膜が、前記上部バス電極上に形成され、上部電極膜が前記パシベーション膜上、および前記パシベーション膜の開口部に形成され、かつ前記開口部の段差で切断されていることを特徴とする薄膜型電子源。

IPC (5件)：

H01J 1/304 , G09F 9/30 360 , H01J 29/04 , H01J 29/87 , H01J 31/12

FI (5件)：

G09F 9/30 360 , H01J 29/04 , H01J 29/87 , H01J 31/12 C , H01J 1/30 F

Fターム (25件)：

5C031DD17 , 5C032CC10 , 5C036EE01 , 5C036EE14 , 5C036EE19 , 5C036EF01 , 5C036EF06 , 5C036EF09 , 5C036EG02 , 5C036EG12 , 5C094AA10 , 5C094AA22 , 5C094AA42 , 5C094AA43 , 5C094BA32 , 5C094BA34 , 5C094CA19 , 5C094DA12 , 5C094DA13 , 5C094EC03 , 5C094FA01 , 5C094FA02 , 5C094FB02 , 5C094FB15 , 5C094GB10

引用特許：

審査官引用 (5件)

薄膜型電子源およびそれを用いた表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-286504 出願人：株式会社日立製作所
電子放出素子及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-000139 出願人：松下電器産業株式会社
画像表示方法とその装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-346302 出願人：キヤノン株式会社

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