電子顕微鏡

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：高田幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-155901
公開番号（公開出願番号）：特開平11-354060
出願日： 1998年06月04日
公開日（公表日）： 1999年12月24日
要約：

【要約】【課題】電子顕微鏡において、未確認視野と確認した視野の区別を簡単にかつ正確に行えることを可能とする。【解決手段】各倍率毎の電子顕微鏡像(試料形状)を、撮像装置4にて画像データとして取込む。更に、これら全ての画像データを関連付け、この時の撮像条件(試料台の座標位置、倍率)を含めて、自動的にCRTモニタ5に表示し、記憶装置6に記録する。

請求項（抜粋）：

試料の電子顕微鏡像を画像データとして取込む撮像装置と、前記画像データを表示する表示装置を有する電子顕微鏡において、基準となる前記試料の電子顕微鏡像を基準画像データとして前記表示装置に表示し、前記試料の任意の位置を任意の倍率で拡大した時に得られる拡大画像データを、前記基準画像データに対応させて階層的に記録する観察データ管理手段を具備していることを特徴とする電子顕微鏡。

IPC (2件)：

H01J 37/22 501 , H01J 37/22 502

FI (2件)：

H01J 37/22 501 A , H01J 37/22 502 C

引用特許：

審査官引用 (11件)

観察位置表示装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-059081 出願人：住友金属工業株式会社
特開平1-209647
特開昭59-221956

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