特許
J-GLOBAL ID：200903053528484460

圧力シールドを組み入れたリソグラフィ装置およびデバイス製造方法

発明者：
ヴァン エンペル,ジャーコ,アドリアーン,ルドルフ

ヴァン エンペル,ジャーコ,アドリアーン,ルドルフ について


出願人/特許権者：
エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ.

エーエスエムエル ネザーランズ ビー.ブイ. について


代理人 (3件)： 稲葉 良幸 ,  大賀 眞司 ,  大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-338721
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173814
出願日： 2006年12月15日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：
【課題】可動部品による圧力波の発生で測定の不正確や結像特性の劣化おそれがあり、その影響を受けにくい堅牢なリソグラフィ装置を提供する。【解決手段】物品を保持し移動させるように構成された可動の物品支持体と、物品、物品支持体、またはそれら両方上に向けるべき放射ビームを制御するように構成された放射制御システムであって、物品が、測定、露光、またはその両方の目的で、可動物品支持体によって放射制御システムに対して移動される、放射制御システムと、圧力波に起因する放射制御システムの変位の抑制を補助するように、放射制御システムから機械的に分離され、物品支持体によって誘起される圧力波をシールドする圧力シールド13とを有する。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
物品を保持し移動させるように構成された可動の物品支持体と、 前記物品、前記物品支持体、またはそれら両方上に向けるべき放射ビームを制御するように構成された放射制御システムであって、前記物品が、測定、露光、またはその両方の目的で、前記可動物品支持体によって、前記放射制御システムに対して移動される、放射制御システムと、 圧力波に起因する前記放射制御システムの変位の抑制を補助するように、前記放射制御システムから機械的に分離され、前記物品支持体によって誘起される前記圧力波をシールドする圧力シールドと、 を備えるリソグラフィ装置。
IPC (1件)：
H01L 21/027
FI (2件)：
H01L21/30 516F ,  H01L21/30 515Z
Fターム (6件)：
5F046CB19 ,  5F046CB27 ,  5F046CC16 ,  5F046DA14 ,  5F046DA27 ,  5F046DB05
引用特許：
審査官引用 (5件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM