特許

J-GLOBAL ID：200903053537965985

弾性表面波素子

発明者： 山之内 和彦 ,  小田川 裕之 ,  小島 俊之 ,  橋間 英和 ,  小西 明男
出願人/特許権者： 山之内 和彦 ,  日本山村硝子株式会社
代理人 (1件)： 内山 充
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-285417
公開番号（公開出願番号）：特開平11-122073
出願日： 1997年10月17日
公開日（公表日）： 1999年04月30日
要約：

【要約】【課題】ニオブ酸カリウム薄膜を用いた電気機械結合係数が大きく、フィルター特性の優れた弾性表面波素子を提供する。【解決手段】表面にアモルファス層を有する基板上に作製した(110)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜を有することを特徴とする弾性表面波素子。

請求項（抜粋）：

表面にアモルファス層を有する基板上に作製した(110)配向ペロブスカイト型ニオブ酸カリウム薄膜を有することを特徴とする弾性表面波素子。

引用特許：

審査官引用 (4件)

• ニオブ酸カリウム薄膜及びその製造方法並びに該薄膜を用いた光学素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-197134   出願人：山村硝子株式会社
• 配向性多層強誘電体薄膜およびその作製方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-175015   出願人：富士ゼロックス株式会社
• 表面弾性波を用いた不揮発性記憶装置並びにそれを用いた応用システム
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-127286   出願人：株式会社日立製作所
• 高配向性ダイヤモンド薄膜を使用した表面弾性波素子
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-111990   出願人：株式会社神戸製鋼所