特許

J-GLOBAL ID：200903053548113530

光感応性粘着テープ及びその製造方法

発明者： 岡田 佳和 ,  名手 和男
出願人/特許権者： 株式会社スリオンテック
代理人 (1件)： 和泉 良彦 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-329118
公開番号（公開出願番号）：特開2001-139905
出願日： 1999年11月19日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】半導体基板や薄膜基板に対して優れた初期粘着特性を示し、ダイシング時のチッピング耐性に優れ、かつ、保存安定性にも優れ、剥離紙又は剥離フィルムがないことによりゴミの発生量が少なく、対環境性を考慮した光感応性粘着テープ及びその製造方法を提供する。【解決手段】紫外線に対して透過性を有する基材の一方の面に光活性官能基を有するアクリル系高分子量体、熱架橋剤及び光重合開始剤とからなる光感応性粘着剤を塗布し、上記光感応性粘着剤を塗布してなる上記基材の他方の面に非シリコーン系の剥離剤層を設けてなる光感応性粘着テープにおいて、上記アクリル系高分子量体の重量平均分子量を10万〜200万、光活性官能基の含有量を0.01〜1.0ミリ当量/g、かつ、水酸基価を10〜100mgKOH/gとする。

請求項（抜粋）：

紫外線に対して透過性を有する基材の一方の面に光活性官能基を有するアクリル系高分子量体、熱架橋剤及び光重合開始剤とからなる光感応性粘着剤を塗布してなる光感応性粘着テープにおいて、上記アクリル系高分子量体の重量平均分子量が10万〜200万であり、光活性官能基の含有量が0.01〜1.0ミリ当量/gであり、かつ、水酸基価が10〜100mgKOH/gであることを特徴とする光感応性粘着テープ。

IPC (4件)：

C09J 7/02 ,  C08F 2/50 ,  C08F290/12 ,  C09J133/06

FI (4件)：

C09J 7/02 Z ,  C08F 2/50 ,  C08F290/12 ,  C09J133/06

Fターム (52件)：

4J004AA10 ,  4J004AB07 ,  4J004CA04 ,  4J004CB03 ,  4J004CC02 ,  4J004DA02 ,  4J004DA03 ,  4J004DB04 ,  4J004EA06 ,  4J004FA05 ,  4J004FA08 ,  4J011AC04 ,  4J011QA02 ,  4J011QA04 ,  4J011QA12 ,  4J011QA13 ,  4J011QA23 ,  4J011QA24 ,  4J011QB24 ,  4J011SA22 ,  4J011SA27 ,  4J011SA31 ,  4J011SA32 ,  4J011SA34 ,  4J011SA42 ,  4J011TA03 ,  4J011UA01 ,  4J011VA01 ,  4J011WA06 ,  4J027AA04 ,  4J027BA06 ,  4J027BA07 ,  4J027BA08 ,  4J027BA20 ,  4J027BA21 ,  4J027BA25 ,  4J027BA26 ,  4J027BA27 ,  4J027BA28 ,  4J027CB10 ,  4J027CC05 ,  4J027CD09 ,  4J040DF021 ,  4J040GA01 ,  4J040JA09 ,  4J040JB08 ,  4J040KA15 ,  4J040KA16 ,  4J040LA01 ,  4J040MA04 ,  4J040MB03 ,  4J040NA20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• ウエハ保護用粘着シート
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-111609   出願人：リンテック株式会社
• エネルギー線硬化型感圧接着剤組成物およびその利用方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-098351   出願人：リンテック株式会社
• 半導体ウエハダイシング用粘着テープ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-196769   出願人：古河電気工業株式会社