清浄空気吹出ユニット、及び、クリーンルーム

発明者： ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：北村修 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-108552
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300147
出願日： 1997年04月25日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：

【要約】【課題】設備コストの低減、及び、設備施工の容易化を効果的に達成できる清浄空気吹出ユニットを提供する。【解決手段】吹出用開口部を吹出空気浄化用フィルタ2の装着部とする吹出チャンバ6の形成体に吹出用ファン1を組み付け装備するユニット構成において、発塵体又は清浄雰囲気必要体を対象体として、ユニット担当領域での対象体の存否を検出する対象体検出センサKと、この対象体検出センサKの検出情報に基づき、ユニット担当領域に対象体が存在するとき、吹出用ファン1の送風量を、ユニット担当領域に対象体が不存のときよりも増大させるユニット個別制御器18とを、吹出用ファン1とともに吹出チャンバ6の形成体に組み付け装備する。

請求項（抜粋）：

吹出用開口部を吹出空気浄化用フィルタの装着部とする吹出チャンバの形成体に、その吹出チャンバへ吹出用空気を取り入れてその取り入れ空気を前記吹出用開口部から吹き出させる吹出用ファンを組み付け装備してある清浄空気吹出ユニットであって、発塵体又は清浄雰囲気必要体を対象体として、前記吹出用開口部を対向させるユニット担当領域での対象体の存否を検出する対象体検出センサと、この対象体検出センサの検出情報に基づき、前記ユニット担当領域に対象体が存在するとき、前記吹出用ファンの送風量を、前記ユニット担当領域に対象体が不存のときよりも増大させるユニット個別制御器とを、前記吹出用ファンとともに前記吹出チャンバの形成体に組み付け装備してある清浄空気吹出ユニット。

IPC (2件)：

F24F 7/06 , F24F 7/007

FI (2件)：

F24F 7/06 C , F24F 7/007 B

引用特許：

出願人引用 (5件)

クリーンルーム用設備ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-301029 出願人：須賀工業株式会社
製造ライン
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113638 出願人：日本無機株式会社
特開平4-306439

全件表示

審査官引用 (7件)

クリーンルーム用設備ユニット
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-301029 出願人：須賀工業株式会社
製造ライン
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-113638 出願人：日本無機株式会社
特開平4-306439

全件表示

前のページに戻る