プラズマトーチスペクトロメータ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 篠崎正海
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-505323
公開番号（公開出願番号）：特表2007-530955
出願日： 2005年03月17日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：

スペクトロメータはプラズマトーチ(12)と、トーチ内部に正常なプラズマ(P)を発生するための誘導コイル(40)とを有している。トーチ(12)は外管(20)及び内管(22)を有している。プラズマ(50)が正常プラズマ状態からトロイダル状又は不完全なプラズマ形状(52)にくずれると、フォトダイオード(70)が形状の変化を検出するので、プラズマトーチは、プラズマ形状(52)がトーチの外管(20)を溶融することを防止するべく停止することができる。

請求項（抜粋）：

誘導結合プラズマトーチにより作られたサンプルを分析するためのスペクトロメータであり、前記プラズマトーチにおいて、正常なプラズマは、ガスを前記プラズマトーチに使用することにより、かつ前記ガスを加熱して正常なプラズマを作るべく誘導コイルを励起することにより作り出されていて、そして前記正常なプラズマはトロイダル状又は不完全なプラズマ形状にくずれかねないスペクトロメータであって: 正常なプラズマからトロイダル状又は不完全なプラズマへのプラズマの変化を検出するための検出器と; 正常なプラズマ形状からトロイダル状又は不完全なプラズマ形状へのプラズマの変化を断定するために、前記検出器から信号を受け取るためのコントロール区画と;を具備しているスペクトロメータにおいて、前記コントロール区画は、プラズマが前記正常なプラズマ形状からトロイダル状又は不完全なプラズマ形状に変化したことを断定した場合、前記プラズマトーチを停止するようになっている; スペクトロメータ。

IPC (4件)：

G01N 27/62 , H05H 1/30 , H05H 1/00 , G01N 21/73

FI (6件)：

G01N27/62 G , H05H1/30 , H05H1/00 A , G01N27/62 K , G01N27/62 L , G01N21/73

Fターム (13件)：

2G041CA01 , 2G041DA14 , 2G041GA03 , 2G041GA06 , 2G043CA01 , 2G043EA08 , 2G043GA08 , 2G043GB17 , 2G043HA01 , 2G043JA01 , 2G043LA01 , 2G043LA03 , 2G043NA05

引用特許：

審査官引用 (4件)

監視手段を備えた高周波誘導熱プラズマ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-227515 出願人：工業技術院長, 東京大学長, 東京電力株式会社, 新日本製鐵株式会社, 日本電子株式会社
プラズマ・スペクトロメーターにおけるプラズマの状態を監視及び/又は制御する方法、及びそのような方法を実行するスペクトロメーター
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-380734 出願人：ジョバンイボンソシエテアノニム
特許第6526355号

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