特許
J-GLOBAL ID：200903053645214627
微小流量制御装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
三木 久巳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-344434
公開番号（公開出願番号）：特開2006-153140
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：
【目的】直線状又は略直線状の絞り溝を用いてマイクロサイズの反応器やナノサイズの反応器などの超微細技術に活用できる、流体の微小流量を正確に制御できる微小流量制御装置を開発する。【構成】本発明に係る微小流量制御装置は、流体の微小流量を制御する絞り溝24が直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面が流体の流動方向に減少するように形成されているので、流体の微小流量を正確に制御することができる。絞り溝が直線状又は略直線状であるから、絞り溝の加工が容易になり、しかも流量調整部材により絞り溝の任意断面を調整し易く、微小流量制御を容易且つ正確に行える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
流体を導入する流入路と、この流入路から導入された流体を流動させる絞り溝と、この絞り溝は直線状又は略直線状に形成され、しかもその断面は流体の流動方向に断面積が減少するように形成され、前記絞り溝を所望の位置まで密閉できる流量調整部材と、この流量調整部材により形成される前記絞り溝の所望断面である流体流出口と、この流体流出口から流出する流体を導出する流出路から構成されることを特徴とする微小流量制御装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (22件)：
3H052AA01
, 3H052BA03
, 3H052BA25
, 3H052BA26
, 3H052BA35
, 3H052CA03
, 3H052DA02
, 3H052EA01
, 3H052EA16
, 3H053AA26
, 3H053BB03
, 3H053CA02
, 3H053DA12
, 3H062AA05
, 3H062AA15
, 3H062BB28
, 3H062BB31
, 3H062CC02
, 3H062CC07
, 3H062DD01
, 3H062EE06
, 3H062HH10
出願人引用 (2件)
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電動膨張弁
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-374321
出願人：株式会社鷺宮製作所
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電動流量制御弁
公報種別：公開公報
出願番号：特願2002-085369
出願人：太平洋工業株式会社
審査官引用 (3件)
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