特許
J-GLOBAL ID:200903053651234923
薄板状材の定点搬送装置
発明者:
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出願人/特許権者:
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2000-047882
公開番号(公開出願番号):特開2001-233452
出願日: 2000年02月24日
公開日(公表日): 2001年08月28日
要約:
【要約】【課題】 液晶表示パネルを製造する為に用いられるガラス基板等のような大形の薄板状材を搬送して来る搬送装置から汚染や損傷等させないように受け取って所定位置へ搬送することができる定点搬送装置を提供すること。【解決手段】 薄板状材1の一端及び他端を支持して搬送して来る搬送装置のワーク取出し側一端に、昇降及び所定角度に回転し得る気体噴射用可動テーブル20が配設されている。気体噴射用可動テーブル20は、薄板状材1の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を薄板状材1の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面20aに連なる水平分散面20bを形成している定点部に薄板状材1の移動を制限するストッパー22を装着している。
請求項(抜粋):
薄板状材の一端及び他端夫々の下面に対する接触によって前記薄板状材を支持しながら搬送する搬送装置と、少なくとも昇降及び所定角度に回転し得るように装着された気体噴射用可動テーブルとを備え、かつ、前記気体噴射用可動テーブルが、前記搬送装置のワーク取出し側一端に搬送されて来た前記薄板状材の下面に向って加圧気体を噴射する分散面を前記薄板状材の前進方向に上り状態に傾斜せしめて形成していると共に、かかる傾斜分散面に連なる水平分散面を形成している定点部に、そこに搬送されて来た前記薄板状材の移動を制限するストッパーを装着していることを特徴とする薄板状材の定点搬送装置。
IPC (4件):
B65G 49/06
, B65H 9/00
, B65H 29/24
, H01L 21/68
FI (4件):
B65G 49/06 Z
, B65H 9/00 J
, B65H 29/24 A
, H01L 21/68 A
Fターム (13件):
3F049FA01
, 3F049FA03
, 3F049LA15
, 3F049LB08
, 3F049LB10
, 3F102AA20
, 3F102AB05
, 3F102AB06
, 3F102AB09
, 3F102BA03
, 5F031CA05
, 5F031GA62
, 5F031PA20
引用特許:
出願人引用 (3件)
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ワーク搬送装置及び搬送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-089527
出願人:キヤノン株式会社
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特開平4-304651
-
基板搬送方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-273294
出願人:富士通株式会社
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