特許
J-GLOBAL ID：200903053742506217
パターン製造装置およびパターン製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
岡▲崎▼ 信太郎
, 新井 全
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-170898
公開番号（公開出願番号）：特開2005-010203
出願日： 2003年06月16日
公開日（公表日）： 2005年01月13日
要約：
【課題】液体材料によるパターンを製造する際に、製造工程を簡素化して製造時間を短縮し、したがってコストダウンを図ることができるパターン製造装置およびパターン製造方法を提供すること。【解決手段】基板20上に第1自己組織化膜50を転写して第1自己組織化膜50のパターンを形成するための自己組織化膜転写部30と、基板20の第1自己組織化膜50のパターン内の基板領域61に対応した凹部71を有する本体70を備える。本体70の凹部71には、液体材料80の溶媒に対して撥液性を有する第2自己組織化膜74が付着されており、凹部71には液体材料80を保持しており、凹部71に保持された液体材料80を第1自己組織化膜50のパターン内の基板領域61に転写して充填するための液体材料の充填部31と、基板20の第1自己組織化膜50のパターン内に充填された液体材料80を乾燥して焼成する加熱部33と、を備える。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板上に自己組織化膜のパターンを転写した後に液体材料を充填して乾燥させることで前記液体材料のパターンを製造するためのパターン製造装置であり、
前記基板上に第1自己組織化膜を転写して前記第1自己組織化膜のパターンを形成するための自己組織化膜転写部と、
前記基板の前記第1自己組織化膜のパターン内の前記基板領域に対応した凹部を有する本体を備え、前記本体の前記凹部には、前記液体材料の溶媒に対して撥液性を有する第2自己組織化膜が付着されており、前記凹部には前記液体材料を保持しており、前記凹部に保持された前記液体材料を前記第1自己組織化膜のパターン内の前記基板領域に転写して充填するための液体材料の充填部と、
前記基板の前記第1自己組織化膜のパターン内に充填された前記液体材料を乾燥して焼成する加熱部と、
を備えることを特徴とするパターン製造装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G02F1/1343
, H01L21/288 Z
2H092GA20
, 2H092HA04
, 2H092KA18
, 2H092KB04
, 2H092KB14
, 2H092MA02
, 2H092MA10
, 2H092NA27
, 2H092NA29
, 4M104AA09
, 4M104BB36
, 4M104DD21
, 4M104DD51
, 4M104GG09
