特許
J-GLOBAL ID：200903053752284034
光検出器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
古谷 史旺
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-273813
公開番号（公開出願番号）：特開平7-131053
出願日： 1993年11月01日
公開日（公表日）： 1995年05月19日
要約：
【要約】【目的】 MESFET、HEMTなどの3端子能動素子を光電気変換素子として用いた光検出器に関し、光結合度および光電気変換効率を向上させ、受光感度を高めることを目的とする。【構成】 ゲート電圧に応じてソース電極とドレイン電極との間に流れる電流が制御される3端子能動素子に光信号を入射し、その光強度に応じた電流制御により光電気変換を行う光検出器において、光信号を集光し、3端子能動素子の側面から各電極の長手方向に平行に入射させる光入射手段(8)を備える。また、3端子能動素子の基板上に積層される各層を屈折率の異なった半導体層で形成し、所定の層を光導波路構造のコア層とする。
請求項（抜粋）：
ゲート電圧に応じてソース電極とドレイン電極との間に流れる電流が制御される3端子能動素子に光信号を入射し、その光強度に応じた電流制御により光電気変換を行う光検出器において、前記光信号を集光し、前記3端子能動素子の側面から前記各電極の長手方向に平行に入射させる光入射手段を備えたことを特徴とする光検出器。
引用特許：
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