特許
J-GLOBAL ID：200903053832612970
可動部を有する構造体の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊藤 洋二
, 三浦 高広
, 水野 史博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-306910
公開番号（公開出願番号）：特開2004-141978
出願日： 2002年10月22日
公開日（公表日）： 2004年05月20日
要約：
【課題】基板にエッチングにより溝を形成することで、この溝を介して区画された可動部および固定部を形成してなる容量式加速度センサの製造方法において、製造工程内におけるスティッキングの発生を極力防止する。【解決手段】溝70を形成して可動部10〜30および固定部40〜60のパターンを形成しつつ、可動電極20と固定電極40、50とに橋渡しされて可動部と固定部とを固定する導電性の固定部材80を形成する工程と、固定部材80にて固定された可動部および固定部のパターンのうち可動部となる部分を基板100(200)からリリースさせる工程と、しかる後、固定部材80に通電して固定部材80を溶断する工程とを行う。【選択図】 図3
請求項（抜粋）：
基板(100)にエッチングにより溝(70)を形成することで、この溝を介して区画された可動部(10〜30)および固定部(40〜60)を形成してなる構造体の製造方法において、
前記溝を形成して前記可動部および前記固定部のパターンを形成しつつ、前記可動部と前記固定部とに橋渡しされてこれら両部を固定する導電性の固定部材(80)を形成する工程と、
前記固定部材にて固定された前記可動部および前記固定部のパターンのうち前記可動部となる部分を前記基板からリリースさせる工程と、
しかる後、前記固定部材に通電して前記固定部材を溶断する工程とを行うことを特徴とする可動部を有する構造体の製造方法。
IPC (4件)：
B81C1/00
, B81B3/00
, G01P15/125
, H01L29/84
B81C1/00
, B81B3/00
, G01P15/125 Z
, H01L29/84 Z
4M112AA01
, 4M112AA02
, 4M112BA07
, 4M112CA21
, 4M112CA22
, 4M112DA03
, 4M112DA04
, 4M112DA08
, 4M112DA09
, 4M112DA11
, 4M112DA16
, 4M112DA18
, 4M112EA02
, 4M112EA11
, 4M112EA14
, 4M112FA07
, 4M112FA20
