特許
J-GLOBAL ID：200903053868693535
スピンバルブ型薄膜磁気素子及び薄膜磁気ヘッド及びスピンバルブ型薄膜磁気素子の製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外8名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157132
公開番号（公開出願番号）：特開2000-348309
出願日： 1999年06月03日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：
【要約】【課題】 スピンバルブ型薄膜磁気素子を製造する場合に、フリー磁性層の溝部の両側の平坦部上に配置されるバイアス層が、前記溝部に残ることがなく、耐熱性に優れたスピンバルブ型薄膜磁気素子を提供すること。【解決手段】 反強磁性層2と、固定磁性層3と、非磁性導電層4と、フリー磁性層5と、バイアス層6、6と、導電層8、8とを基板K上に有し、前記フリー磁性層5は、前記基板Kと反対側の面にトラック幅Twに相当する幅のトラック溝5Aが設けられた溝部5Bと、その両側の平坦部5C、5Cとを有し、前記バイアス層6は、前記フリー磁性層5の両平坦部5C、5C上に配置されたものとする。
請求項（抜粋）：
反強磁性層と、前記反強磁性層と接して形成され、前記反強磁性層との交換異方性磁界により磁化方向が固定される固定磁性層と、前記固定磁性層の上に非磁性導電層を介して形成されたフリー磁性層と、前記フリー磁性層の磁化方向を前記固定磁性層の磁化方向に対して交差する方向に揃えるバイアス層と、前記フリー磁性層に検出電流を与える導電層とを有するスピンバルブ型薄膜磁気素子であり、前記フリー磁性層は、前記固定磁性層の配置されている方向と反対側の面にトラック幅に相当する幅のトラック溝が設けられた溝部と、その両側の平坦部とを有し、前記バイアス層は、前記フリー磁性層の両平坦部上に配置されたことを特徴とするスピンバルブ型薄膜磁気素子。
Fターム (4件)：
5D034BA04
, 5D034BA09
, 5D034CA08
, 5D034DA07
