特許

J-GLOBAL ID：200903053906248605

プローブカード及びプローブカードの製造方法

発明者： 谷口 修 ,  山岸 康男 ,  水越 正孝 ,  丸山 茂幸 ,  田代 一宏 ,  渡辺 直行
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (2件)： 高橋 敬四郎 ,  来山 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-091659
公開番号（公開出願番号）：特開2004-301527
出願日： 2003年03月28日
公開日（公表日）： 2004年10月28日
要約：

【課題】試験対象基板の表面にうねりがある場合でも、安定してプローブ針を接触させることが可能なプローブカードを提供する。【解決手段】可撓性を有する膜の片面から複数のプローブ針が突出している。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

可撓性を有する膜と、 前記膜の片面から突出した複数のプローブ針と を有するプローブカード。

IPC (2件)：

G01R1/073 ,  H01L21/66

FI (2件)：

G01R1/073 E ,  H01L21/66 B

Fターム (9件)：

2G011AA17 ,  2G011AA21 ,  2G011AB08 ,  2G011AC14 ,  2G011AF07 ,  4M106AA01 ,  4M106BA01 ,  4M106DD09 ,  4M106DD10

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 回路検査用デバイスおよびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-169397   出願人：ホーヤ株式会社
• コンデンサ内蔵基板およびその製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-079734   出願人：松下電器産業株式会社