平面型光導波路およびその製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長谷川芳樹 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-025127
公開番号（公開出願番号）：特開平8-220355
出願日： 1995年02月14日
公開日（公表日）： 1996年08月30日
要約：

【要約】【目的】屈折率分布の異方性を低減した平面型光導波路を提供する。【構成】純度が99.99%以上の石英ガラスから成る基板100と、フッ素を0.5重量%以上含有する石英ガラスから成り、基板100上に形成されたクラッド部200と、塩素を0.1重量%以上含有するとともに塩素以外の不純物を実質的に含有しない石英ガラスから成り、クラッド部200よりも高い屈折率を有するとともに、光の入射端および光の出射端を除いてクラッド部200に取り囲まれたコア部300と備える。

請求項（抜粋）：

純度が99.99重量%以上の石英ガラスから成る基板と、フッ素を0.5重量%以上含有する石英ガラスから成り、前記基板上に形成されたクラッド部と、塩素を0.1重量%以上含有するとともに塩素以外の不純物を実質的に含有しない石英ガラスから成り、前記クラッド部よりも高い屈折率を有するとともに、光の入射端および光の出射端を除いて前記クラッド部に取り囲まれたコア部と、備えることを特徴とする平面型光導波路。

IPC (3件)：

G02B 6/12 , C03B 20/00 , G02B 6/13

FI (3件)：

G02B 6/12 N , C03B 20/00 , G02B 6/12 M

引用特許：

審査官引用 (4件)

ガラス導波路の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-017229 出願人：日立電線株式会社
薄膜トランジスタ-用石英ガラス基板
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-034510 出願人：信越化学工業株式会社
耐放射イメージファイバ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-033967 出願人：株式会社フジクラ

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