特許
J-GLOBAL ID：200903053976881836

観察装置及び端面欠陥検査装置

発明者：
倉田 俊輔

倉田 俊輔 について

, 
土坂 新一

土坂 新一 について


出願人/特許権者：
オリンパス株式会社

オリンパス株式会社 について


代理人 (8件)： 鈴江 武彦 ,  河野 哲 ,  中村 誠 ,  蔵田 昌俊 ,  峰 隆司 ,  福原 淑弘 ,  村松 貞男 ,  橋本 良郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-061518
公開番号（公開出願番号）：特開2007-240264
出願日： 2006年03月07日
公開日（公表日）： 2007年09月20日
要約：
【課題】基板の端面部に接触することが無いいため端面部に影響を与えることがなく、ウエハの反りなどの形状による面振れ等にも適応した観察が可能な観察装置及び端面欠陥検査装置を提供する。【解決手段】本発明は、基板の端面部を撮像する撮像装置と、基板を保持し回転可能な保持部と、基板の端面部の位置の変動量を検出する変位検出部と、撮像された画像を表示する表示部と、変位検出部からの信号をもとに撮像部で撮像された基板の端面部の画像が表示部上の一定の位置に観察されるよう制御する制御部とを備える観察装置及び端面欠陥検査装置である。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
基板の端面部を撮像する撮像装置と、 前記基板を保持するとともに、該基板の法線方向を回転の中心軸として回転可能な保持部と、 前記保持部の回転によって発生する前記基板の端面部の位置の変動量を検出する変位検出部と、 前記撮像装置で撮像された画像を表示する表示部と、 前記変位検出部からの信号をもとに前記撮像装置で撮像された前記基板の端面部の画像が前記表示部上の一定の位置に観察されるように制御する制御部と、 を備えることを特徴とする観察装置。
IPC (3件)：
G01N 21/956 ,  G01B 11/30 ,  H01L 21/66
FI (3件)：
G01N21/956 A ,  G01B11/30 A ,  H01L21/66 J
Fターム (46件)：
2F065AA00 ,  2F065AA01 ,  2F065AA31 ,  2F065AA49 ,  2F065BB03 ,  2F065BB16 ,  2F065CC19 ,  2F065FF04 ,  2F065FF10 ,  2F065FF44 ,  2F065FF67 ,  2F065GG07 ,  2F065GG17 ,  2F065HH16 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM04 ,  2F065PP05 ,  2F065PP12 ,  2F065SS02 ,  2F065SS13 ,  2G051AA51 ,  2G051AB01 ,  2G051AB03 ,  2G051AB05 ,  2G051BA01 ,  2G051BA02 ,  2G051BB02 ,  2G051BB03 ,  2G051BB09 ,  2G051CA04 ,  2G051CC09 ,  2G051CC11 ,  2G051DA01 ,  2G051DA07 ,  2G051DA08 ,  2G051EA12 ,  4M106AA01 ,  4M106CA38 ,  4M106DB04 ,  4M106DB13 ,  4M106DJ04 ,  4M106DJ06
引用特許：
出願人引用 (2件)
  • ウエーハ用検査装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2002-042398   出願人：本多エレクトロン株式会社, 東芝セラミックス株式会社
  • 観察装置及び観察方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-038178   出願人：株式会社日立製作所

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