特許
J-GLOBAL ID：200903054033714813

撮像装置

発明者：
有馬 洋文

有馬 洋文 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-004297
公開番号（公開出願番号）：特開2005-197591
出願日： 2004年01月09日
公開日（公表日）： 2005年07月21日
要約：
【課題】 スループットを劣化させずにコントラストの高い画像を得ることができる撮像装置を提供する。【解決手段】 光源2と、高倍用CCDカメラ16と、光源2から出射した照明光がウエハ8に照射されてこのウエハ8で反射した反射光を高倍用CCDカメラ16の撮像面に集光結像する高倍用結像光学系17からなり、高倍用CCDカメラ16から出力される信号を処理してウエハ8の画像を得る重ね合わせ測定装置1において、回転式波長選択フィルタ3により少なくとも2つの異なる波長帯域の反射光を切り替えて高倍用CCDカメラ16で検出し、それぞれの反射光に対応したウエハ8の画像からコントラストの最も高い波長帯域の画像を選択して出力するように構成する。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源と、カメラと、前記光源から出射した照明光が物体に照射されて前記物体で反射した反射光を前記カメラの撮像面に集光結像する結像光学系とからなり前記カメラから出力される信号を処理して前記物体の画像を得る撮像装置において、 少なくとも2つの異なる波長帯域の前記反射光を前記カメラで検出してそれぞれの前記反射光に対応した前記物体の画像からコントラストの最も高い画像を選択して出力するように構成されたことを特徴とする撮像装置。
IPC (2件)：
H01L21/027 ,  G03F9/00
FI (2件)：
H01L21/30 525M ,  G03F9/00 H
Fターム (7件)：
5F046FA03 ,  5F046FA06 ,  5F046FA07 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FB08 ,  5F046FB13
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (4件)
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