特許

J-GLOBAL ID：200903054064498094

大型基板用検査台

発明者： 西田 真史 ,  牛草 昌人 ,  前田 博己
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 小西 淳美
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-159282
公開番号（公開出願番号）：特開平10-332600
出願日： 1997年06月03日
公開日（公表日）： 1998年12月18日
要約：

【要約】【課題】 検査員に負担をかけることなく、視線を固定したままで、大型基板の検査ができる検査台を提供することを目的とする。【解決手段】 被検査基板2を保持する基板保持台10と、前記基板保持台10を傾斜可能に軸承する保持台傾斜手段20と、前記基板保持台10を昇降可能に支持する保持台昇降手段30と、前記基板保持台10を傾斜可能および昇降可能に支持する架台40とで構成する。また、前記基板保持台10に、被検査基板1を裏面から照明する透過照明手段と、被検査基板2を表面から照明する反射照明手段とを備える。

請求項（抜粋）：

被検査基板を保持する基板保持台と、前記基板保持台を傾斜可能に軸承する保持台傾斜手段と、前記基板保持台を昇降可能に支持する保持台昇降手段と、前記基板保持台を傾斜可能および昇降可能に支持する架台とで構成されていることを特徴とする大型基板用検査台。

IPC (11件)：

G01N 21/88 ,  G01B 11/24 ,  G01M 11/00 ,  G02B 27/00 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/00 ,  G09F 9/35 ,  G12B 5/00 ,  H01J 9/24 ,  H01J 9/42 ,  H01J 17/49

FI (11件)：

G01N 21/88 D ,  G01B 11/24 F ,  G01M 11/00 ,  G02F 1/133 ,  G03F 7/00 ,  G09F 9/35 ,  G12B 5/00 T ,  H01J 9/24 A ,  H01J 9/42 A ,  H01J 17/49 ,  G02B 27/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平1-203945
  
• マクロ検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-067910   出願人：オリンパス光学工業株式会社
• 大型基板検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-070288   出願人：オリンパス光学工業株式会社