特許

J-GLOBAL ID：200903054133126749

プラズマ処理装置

発明者： 屋代 進
出願人/特許権者： 積水化学工業株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-275593
公開番号（公開出願番号）：特開2005-038752
出願日： 2003年07月16日
公開日（公表日）： 2005年02月10日
要約：

【課題】 プラズマ吹出し手段の吹出し方向にある配置物をプラズマから保護可能なプラズマ処理装置を提供する。【解決手段】 プラズマ吹出し手段20にて処理ガスを電極33,34間に通しプラズマ化して下方へ吹出すとともに、被処理物Wをローラコンベア10にてプラズマ吹出し手段20の下側を横切るように送る。プラズマ吹出し手段20の直下のローラコンベアをガラス(耐プラズマ性材料)からなる保護カバー51で覆う。保護カバー51には、ローラコンベアのローラ12の上縁部を通すローラ通孔51dを形成する。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

処理ガスを電極間に通して吹出すプラズマ吹出し手段と、被処理物を、前記プラズマ吹出し手段の吹出し方向を横切るように送る搬送手段とを備えたプラズマ処理装置において、被処理物の通る位置よりプラズマ吹出し手段とは逆側に僅かに離して耐プラズマ性材料からなる保護カバーを設けたことを特徴とするプラズマ処理装置。

IPC (5件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 ,  B08B7/00 ,  C23F4/00 ,  H01L21/3065

FI (5件)：

H05H1/24 ,  B01J19/08 E ,  B08B7/00 ,  C23F4/00 A ,  H01L21/302 101E

Fターム (29件)：

3B116AA02 ,  3B116AB14 ,  3B116BB22 ,  3B116BB88 ,  3B116BC01 ,  4G075AA24 ,  4G075AA30 ,  4G075BA05 ,  4G075BB10 ,  4G075BC04 ,  4G075BC06 ,  4G075BC10 ,  4G075CA47 ,  4G075DA02 ,  4G075EB01 ,  4G075EC25 ,  4G075FB06 ,  4K057DA02 ,  4K057DA20 ,  4K057DM35 ,  4K057DM36 ,  4K057DM37 ,  4K057DM40 ,  5F004AA06 ,  5F004BA20 ,  5F004BB24 ,  5F004BC06 ,  5F004BD01 ,  5F004BD04

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 放電プラズマ処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-366607   出願人：積水化学工業株式会社

審査官引用 (1件)

• 表面処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-040192   出願人：積水化学工業株式会社