特許
J-GLOBAL ID：200903054142195770
カンチレバーホルダーおよびこれを用いた走査型プローブ顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-262804
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111301
出願日： 1996年10月03日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：
【要約】【課題】カンチレバーホルダーにおける浮遊容量を低減し、しかも、カンチレバーと計測回路との電気的な接続を容易に行うことのできるカンチレバーホルダーを備えた走査型プローブ顕微鏡を提供する。【解決手段】金属パターン202、203を有するカンチレバー1と、カンチレバー1を保持するためのカンチレバーホルダー2と、試料を保持する試料ホルダーと、試料とカンチレバーとを間隔を一定に保つための間隔保持手段と、カンチレバーの金属パターンの電気信号を処理する電気回路とを有する。カンチレバーホルダー2は、基板21上に、パット部23と、接続端子部24とを備える。ボンディング等により、パット部23をカンチレバー1の配線パターン203に接続するとともに、接続端子部24を外部の電気回路に接続する。このような構成により、試料とカンチレバーホルダーとの間の浮遊容量を減少させることができるとともに、電気的接続も容易になる。
請求項（抜粋）：
基板と、前記基板に搭載された金属パターンとを有し、前記金属パターンは、カンチレバーと電気的に接続するためのパット部と、外部の電気回路と接続するための接続端子部とを備えることを特徴とするカンチレバーホルダー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 H
, G01B 21/30 Z
