レーザーガスの低温精製器

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：北谷寿一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-337608
公開番号（公開出願番号）：特開平9-139533
出願日： 1995年12月26日
公開日（公表日）： 1997年05月27日
要約：

【要約】【課題】不純物除去効率の高いレーザガスの低温精製器を提供する。【解決手段】低温精製器(3)をケーシング(13)と、このケーシング(13)内にコールドヘッド(15)を突入させた状態に配置した極低温冷凍機(17)と、ケーシング内でコールドヘッド(15)のコールドエンド(14)に固定したコールドトラップ(18)とで構成し、コールドトラップ(18)でのレーザガス導入口(21)とレーザガス導出口(23)との間に耐食性焼結材で構成した隔壁(32)を配置してレーザガスが隔壁(32)を貫通するように構成した。

請求項（抜粋）：

レーザ管(1)から導出したレーザガス導出管(2)を低温精製器(3)に連通接続し、低温精製器(3)から導出したレーザガス返送管(4)をレーザ管(1)に連通接続して、レーザガスから不純物を除去するようにしたレーザガスの精製システムに使用する低温精製器であって、低温精製器(3)をケーシング(13)と、このケーシング(13)内にコールドヘッド(15)を突入させた状態に配置した極低温冷凍機(17)と、ケーシング内でコールドヘッド(15)のコールドエンド(14)に固定したコールドトラップ(18)とで構成し、コールドトラップ(18)でのレーザガス導入口(21)とレーザガス導出口(23)との間に耐食性焼結材で構成した隔壁(32)を配置してレーザガスが隔壁(32)を貫通するように構成したことを特徴とするレーザーガスの低温精製器。

引用特許：

審査官引用 (6件)

気体レーザ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-108829 出願人：株式会社島津製作所
特開昭62-241386
特開平3-156279

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