多層膜中の固溶層分析方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：足立勉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-267163
公開番号（公開出願番号）：特開平10-111262
出願日： 1996年10月08日
公開日（公表日）： 1998年04月28日
要約：

【要約】【課題】多層膜中の固溶層の固溶率を容易にかつ正確に求める。【解決手段】本願出願人は、TiCN系の固溶体に対してX線光電子分光法(XPS)によるピーク波形10を求め、これを波形分離して、TiCに対応する波形11とTiNに対応する波形12との面積比を算出した。すると、この面積比がTiCN系固溶体の固溶率ときわめて良好な対応関係を有することを発見した。そこで、粉末状の固溶体に対してX線回折法にて測定した固溶率と、その固溶体のXPSによる上記面積比との対応関係から検量線を作成しておき、多層膜中の固溶層からXPSによるピーク波形を測定し、そのピーク波形の上記面積比と上記検量線とに基づいてその固溶層の固溶率を求める。

請求項（抜粋）：

粉末状の固溶体からX線回折法によって該固溶体の固溶率を測定すると共に、上記粉末状の固溶体からX線光電子分光法によるピーク波形を測定し、上記固溶率と上記ピーク波形との対応関係から検量線を作成し、多層膜中の上記固溶体からなる固溶層からX線光電子分光法によるピーク波形を測定し、該ピーク波形から上記検量線に基づいて上記多層膜中の固溶層の固溶率を求めることを特徴とする多層膜中の固溶層分析方法。

引用特許：

審査官引用 (3件)

多層薄膜の非破壊定量分析方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-009927 出願人：株式会社日立製作所
ハロゲン化銀乳剤
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-016429 出願人：富士写真フイルム株式会社
XPS定量分析法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-245498 出願人：住友金属工業株式会社

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