特許

J-GLOBAL ID：200903054148181380

静圧気体軸受装置

発明者： 藤川 芳夫 ,  伊藤 高順
出願人/特許権者： エヌティエヌ株式会社
代理人 (1件)： 鎌田 文二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-318284
公開番号（公開出願番号）：特開2001-140882
出願日： 1999年11月09日
公開日（公表日）： 2001年05月22日
要約：

【要約】【課題】 回転軸が軸受ハウジング内に圧縮気体によって非接触で支持する静圧気体軸受装置で、従来は不可能であった微小な隙間で安定して動作する非接触シールによって、従来よりも少ない台数または低い性能の真空ポンプで、あるいは真空ポンプなしで、真空または減圧雰囲気での高精度な回転運動を実現できるようにすることを課題とする。【解決手段】 ハウジング4と、ハウジング4内に静圧気体軸受で回転自在に支持された回転軸5と、回転軸5の一端には、回転軸5を駆動させる駆動手段と、回転軸5の外周面に非接触シールを設けた静圧気体軸受装置において、前記静圧気体軸受は回転軸を軸方向に支持する2つの静圧気体軸受部を有し、ハウジング4外部に近い側には、ハウジング4と回転軸5の相互に対向する面により、一方の静圧気体軸受部の軸受隙間8と前記非接触シール隙間18とを形成し、該一方の静圧気体軸受部の軸受隙間8が他方の静圧気体軸受部の軸受隙間9より小さくしたものである。

請求項（抜粋）：

ハウジングと、ハウジング内に静圧気体軸受で回転自在に支持された回転軸と、回転軸の一端には、回転軸を駆動させる駆動手段と、回転軸の外周面に非接触シールを設けた静圧気体軸受装置において、前記静圧気体軸受は回転軸を軸方向に支持する2つの静圧気体軸受部を有し、ハウジング外部に近い側には、ハウジングと回転軸の相互に対向する面により、一方の静圧気体軸受部の軸受隙間と前記非接触シール隙間とを形成し、該一方の静圧気体軸受部の軸受隙間が他方の静圧気体軸受部の軸受隙間より小さいことを特徴とする静圧気体軸受装置。

FI (2件)：

F16C 32/06 B ,  F16C 32/06 C

Fターム (9件)：

3J102AA02 ,  3J102BA03 ,  3J102BA19 ,  3J102CA03 ,  3J102EA02 ,  3J102EA18 ,  3J102EB03 ,  3J102FA08 ,  3J102GA06

引用特許：

出願人引用 (7件)

• 特開昭62-209221
  
• 特開昭63-198796
  
• 動圧軸受モータ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-140242   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開平4-351318
  
• 特開昭63-174802
  
• 静圧軸受装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-000976   出願人：株式会社東芝
• 支持装置および軸受
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-080873   出願人：ファナック株式会社