特許

J-GLOBAL ID：200903054154007740

粘弾性分布測定方法

発明者： 山本 充彦
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-157316
公開番号（公開出願番号）：特開2000-346784
出願日： 1999年06月04日
公開日（公表日）： 2000年12月15日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、柔らかく、変形し易い試料の粘弾性分布を高い測定精度で測定する。【解決手段】 試料とプローブとの間における力変調に対する応答性に基づいて行う粘性及び又は弾性の測定を、走査させながら行うことによって試料表面の粘性分布及び又は弾性分布を求める粘弾性分布測定方法において、走査はプローブの共振周波数近傍でプローブを振動振幅が一定となるようにプローブと試料表面との間隔を制御するダイナミックモードのフィードバック制御を行い、試料とプローブ間の力変調に基づいて変化するプローブの振動の振幅から弾性を求め、プローブの振動の位相から粘性を測定する。フィードバック制御をダイナミックモードとすることによって、柔らかく、変形し易い試料に対する影響を低減して、粘弾性及び走査位置の測定精度を向上させ、高い測定精度で粘弾性分布測定を行う。

請求項（抜粋）：

試料とプローブとの間における力変調に対する応答性に基づいて行う粘性及び又は弾性の測定を、プローブを試料表面上で走査させながら行うことによって試料表面の粘性分布及び又は弾性分布を求める粘弾性分布測定方法において、前記走査は、プローブをプローブの共振周波数近傍で振動させ、試料表面形状に応じて該振動の振幅が一定となるようにプローブと試料表面との間隔を制御するフィードバック制御によって行い、前記粘弾性測定は、試料とプローブとを相対的に振動させることによって試料とプローブ間において力変調を行い、該力変調に基づいて変化するプローブの振動の振幅から弾性を求め、プローブの振動の位相から粘性を測定することを特徴とする、粘弾性分布測定方法。

IPC (5件)：

G01N 13/16 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30 ,  G01N 13/10 ,  G01N 19/00

FI (5件)：

G01N 13/16 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z ,  G01N 13/10 C ,  G01N 19/00 B

Fターム (43件)：

2F063AA43 ,  2F063AA50 ,  2F063BA29 ,  2F063BB01 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA02 ,  2F063DA04 ,  2F063DB05 ,  2F063DD08 ,  2F063EA16 ,  2F063EB01 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063GA57 ,  2F063JA04 ,  2F063KA01 ,  2F063KA05 ,  2F063LA01 ,  2F063LA06 ,  2F063LA30 ,  2F069AA57 ,  2F069AA60 ,  2F069AA99 ,  2F069BB40 ,  2F069DD30 ,  2F069GG01 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG19 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ07 ,  2F069MM32 ,  2F069MM34 ,  2F069NN03 ,  2F069NN04 ,  2F069QQ05 ,  2F069QQ12

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 3次元走査プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-203484   出願人：セイコーインスツルメンツ株式会社
• 走査型プローブ顕微鏡及びその試料観察方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-102622   出願人：株式会社ニコン