特許
J-GLOBAL ID:200903054187762179

光スイッチ制御装置および移動体制御装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 真田 有
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2004-107982
公開番号(公開出願番号):特開2005-099682
出願日: 2004年03月31日
公開日(公表日): 2005年04月14日
要約:
【課題】ティルトミラー等の移動体の移動制御時の残留振動を低減でき、高精度な制御が行えること。【解決手段】処理部11は、ティルトミラー1の角度を制御する駆動信号を出力し、駆動信号はD/A変換器12によりD/A変換され、高電圧増幅器13により高電圧化してティルトミラー1に供給される。ティルトミラー1は角度変更に対応して自身が有する静電容量が変わる。ミラー角度検出部14は、この静電容量を検出し補正値として処理部11にフィードバックする。処理部11は、実際にティルトミラー1を角度変更したときの補正値を用いて駆動信号を補正する。これにより、ティルトミラー1の角度制御を高精度化することができる。【選択図】 図2
請求項(抜粋):
角度位置に対応して静電容量が変化するミラーを角度制御する光スイッチ制御装置において、 前記ミラーの静電容量を検出する静電容量検出手段と、 前記静電容量検出手段によって検出された静電容量に基づいて前記ミラーの角度位置変更時の駆動信号を補正する処理手段と、 を備えることを特徴とする光スイッチ制御装置。
IPC (1件):
G02B26/08
FI (1件):
G02B26/08 E
Fターム (4件):
2H041AA12 ,  2H041AB14 ,  2H041AC06 ,  2H041AZ06
引用特許:
審査官引用 (3件)

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