特許
J-GLOBAL ID：200903054222360119
誘電泳動液体を含むマイクロミラー素子
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
古谷 聡
, 溝部 孝彦
, 西山 清春
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-070838
公開番号（公開出願番号）：特開2004-280107
出願日： 2004年03月12日
公開日（公表日）： 2004年10月07日
要約：
【課題】マイクロミラー素子のアレイの密度を最大限にする一方、マイクロミラー素子への駆動力を生成するために必要とされる駆動エネルギーを最小限に抑えること。【解決手段】表面(22)を有する基板(20)と、該基板の前記表面から隔置され、及び該基板の該表面と実質的に平行に向けられたプレート(30)であって、該プレートと前記基板とがそれらの間に空洞(50)を画定する、プレート(30)とを含む、マイクロミラー素子。該マイクロミラー素子に電気信号が加えられた際に動くことができる誘電泳動液体(53)が前記空洞内に配置され、前記基板の前記表面と前記プレートとの間に反射素子(42)が配置され、該反射素子が第1の位置と少なくとも1つの第2の位置との間で動くよう構成される。誘電泳動液体は、非対称のエーテル結合を実質的に有さないシロキサン及びシランからなるグループから選択された少なくとも1つの化合物を含む。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
マイクロミラー素子であって、
表面(22)を有する基板(20)と、
該基板の前記表面から隔置され、及び前記表面と実質的に平行に向けられた、プレート(30)であって、該プレートと前記基板の前記表面とがそれらの間に空洞(50)を画定する、プレート(30)と、
前記空洞内に配置される誘電泳動液体(53)であって、該誘電泳動液体が、前記素子に電気信号が加えられた際に動くことが可能なものであり、及び、非対称なエーテル結合を実質的に有さないシロキサン及び非対称なエーテル結合を実質的に有さないシランからなるグループから選択された少なくとも1つの化合物を含む、誘電泳動液体(53)と、
前記基板の前記表面と前記プレートとの間に配置された反射素子(42)とを含み、
該反射素子が、第1の位置と少なくとも1つの第2の位置との間で動くよう構成される、マイクロミラー素子。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (4件)：
2H041AA14
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ01
審査官引用 (5件)
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光偏向装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平11-013744
出願人：キヤノン株式会社
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光偏向装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平9-331325
出願人：キヤノン株式会社
-
超小型鏡デバイスおよびその形成方法
公報種別：公開公報
出願番号：特願2003-100077
出願人：ヒューレット・パッカード・カンパニー
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