特許
J-GLOBAL ID：200903054229221300

形状計測装置及び形状計測方法

発明者：
藤井 正昭

藤井 正昭 について

, 
亀山 博史

亀山 博史 について

, 
佐野 建治

佐野 建治 について


出願人/特許権者：
日立エンジニアリング株式会社

日立エンジニアリング株式会社 について


代理人 (1件)： 高田 幸彦 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-214954
公開番号（公開出願番号）：特開2002-031514
出願日： 2000年07月14日
公開日（公表日）： 2002年01月31日
要約：
【要約】【課題】取っ手のような突出部分のある被計測物の外側形状を、容易に、かつ忠実に計測できる形状計測装置を提供する。【解決手段】被計測物1を載置する回転可能な回転テーブル部32を、外部センサ21に対して被計測物1の回転中心を平行移動可能なように構成する。また、計測制御装置41に、外部センサ21に対して被計測物1の回転中心を異ならせる毎に被計測物1の外形形状を計測する計測部と、計測した各計測値を合成する合成部とを具備させる。
請求項（抜粋）：
被計測物を載置する回転可能な回転テーブル部と、該回転テーブル部を駆動する回転テーブル駆動機構と、前記被計測物に対して計測ビームを発射し、前記被計測物から反射してきた前記計測ビームを受ける外部センサと、該外部センサを前記被計測物の高さ方向に移動可能に支持するセンサ駆動機構と、前記受けた計測ビームの信号を基に、前記回転テーブル駆動機構及び前記センサ駆動機構を駆動し前記被計測物の外形形状を計測する計測制御装置とを有する形状計測装置において、前記回転テーブル部は、前記外部センサに対して前記被計測物の回転中心を平行移動可能なように構成し、前記計測制御装置は、前記外部センサに対して前記被計測物の回転中心を異ならせる毎に前記被計測物の外形形状を計測する計測部と、前記計測した各計測値を合成する合成部とを有することを特徴とする形状計測装置。
FI (2件)：
G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 B
Fターム (20件)：
2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA54 ,  2F065BB05 ,  2F065FF61 ,  2F065GG01 ,  2F065JJ00 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM14 ,  2F065MM24 ,  2F065MM28 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP22 ,  2F065PP26 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ21 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ32
引用特許：
出願人引用 (7件)
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