表面処理方法および表面処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鈴江武彦 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-131545
公開番号（公開出願番号）：特開平9-314019
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月09日
要約：

【要約】【課題】被処理材の表面の加工あるいは洗浄に際して、被処理材の形状に殆んど依存せずに処理の均一性を得るとともに仕上げ乾燥時における被処理材表面の汚染を抑止し、処理液の消費量、処理後の廃棄量を抑制し、廃棄処理費用や環境保全対策費用を抑制する。【解決手段】被処理材10の表面の加工処理あるいは洗浄処理に際して、被処理材の処理対象領域を所定の大きさを処理単位として複数個に区分して処理区分を順に選択し、選択した処理区分毎に流体を供給して加工処理あるいは洗浄処理を行うとともに処理に伴って生成された生成物の回収を自動的に行う。

請求項（抜粋）：

被処理材の表面の加工処理あるいは洗浄処理に際して、被処理材の処理対象領域を所定の大きさを処理単位として複数個に区分して処理区分を選択し、選択した処理区分に流体を供給して加工処理あるいは洗浄処理を行うとともに処理に伴って生成された生成物の回収を自動的に行うことを特徴とする表面処理方法。

IPC (5件)：

B05C 9/10 , B05D 1/40 , G03F 7/30 501 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341

FI (5件)：

B05C 9/10 , B05D 1/40 A , G03F 7/30 501 , H01L 21/304 341 N , H01L 21/30 569 C

引用特許：

審査官引用 (3件)

回転塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-140807 出願人：大日本スクリーン製造株式会社
塗布方法及び塗布装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-026932 出願人：コニカ株式会社
フオトレジスト除去装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-302450 出願人：東京エレクトロン株式会社

前のページに戻る