ホール素子を備えた電流検出装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高野則次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-249472
公開番号（公開出願番号）：特開2001-230467
出願日： 2000年08月21日
公開日（公表日）： 2001年08月24日
要約：

【要約】【課題】ホール素子を使用して、電流を高精度に検出することが困難であった。【解決手段】ホール素子1を構成する半導体基体23の表面の絶縁膜32の上に電流通路としての導体層15を設ける。このをホール素子1の主動作領域を囲むように配置する。導体層15と半導体基体23との間に誘導ノイズを防ぐためのMoからなるシールド層50を配置する。

請求項（抜粋）：

電気回路の電流を検出するための装置であって、ホール素子を有する半導体基体と、前記ホール素子を覆うように前記半導体基体の一方の表面上に配置された第1の絶縁膜と、前記第1の絶縁膜の関口を通して前記ホール素子の複数の半導体領域にそれぞれ接続された複数の電極と、前記第1の絶縁膜の上に配置され且つ前記複数の電極にそれぞれ接続された複数の配線導体層と、前記第1の絶縁膜及び前記複数の電極及び前記複数の配線導体を覆うように形成された第2の絶縁膜と、平面的に見て少なくとも前記ホール素子の主動作領域の一部を覆うように前記第2の絶縁膜の上に配置されたシールド層と、前記シールド層を覆うように形成された第3の絶縁膜と、平面的に見て前記主動作領域に沿う部分を有するように前記第3の絶縁膜の上に配置され被検出電流通路用導体層とを備えた電流検出装置。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭61-097574
ホール素子
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-331368 出願人：株式会社東芝
特開平4-106988

全件表示

前のページに戻る