特許

J-GLOBAL ID：200903054301308424

簡易交換型真空センサ

発明者： 宮下 治三
出願人/特許権者： アネルバ株式会社
代理人 (1件)： 鈴木 正次
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-332775
公開番号（公開出願番号）：特開2001-153747
出願日： 1999年11月24日
公開日（公表日）： 2001年06月08日
要約：

【要約】【課題】 電子部品や半導体製造品の製造に用いられる真空装置内の圧力を測定する真空センサにおいて、真空センサの構成部品の中で、測定環境からのダメージを受けやすい圧力検出素子部が破損した場合であっても、真空センサ部全体を新しい真空センサと交換する必要のない簡易交換型真空センサを提供する。【解決手段】 圧力が測定される真空装置に、センサケースの一端側の接続部を介して接続されると共に、当該センサケースの他端側に真空装置の圧力を測定する電気回路に接続される圧力検出部が配備される真空センサにおいて、真空センサの中で最も寿命の短い圧力検出部が形成されている基板を、前記センサケースの他端側に着脱自在とし、且つ、前記圧力検出部が形成されている基板を、前記センサケースの他端側に装着した時に、真空センサの真空シールが保たれると共に、前記電気回路と基板上に形成されている圧力検出部との電気的接続も自動的に行えるように構成して課題を解決した。

請求項（抜粋）：

圧力が測定される真空装置に、センサケースの一端側の接続部を介して接続されると共に、当該センサケースの他端側に真空装置の圧力を測定する電気回路に接続される圧力検出部が配備される真空センサにおいて、前記圧力検出部が形成されている基板が、前記センサケースの他端側に着脱自在とされていることを特徴とする簡易交換型真空センサ。

IPC (3件)：

G01L 19/14 ,  G01L 9/12 ,  G01L 21/12

FI (3件)：

G01L 19/14 ,  G01L 9/12 ,  G01L 21/12

Fターム (10件)：

2F055AA40 ,  2F055BB08 ,  2F055CC02 ,  2F055CC43 ,  2F055DD07 ,  2F055DD19 ,  2F055EE25 ,  2F055FF45 ,  2F055GG25 ,  2F055HH11

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭63-247689
  
• 特開昭63-247689
  
• 電子装置のシール構造
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-104143   出願人：株式会社カンセイ
• 圧力検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-217213   出願人：株式会社カンセイ