特許
J-GLOBAL ID：200903054308452415
液晶基板の外観検査方法および装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
藤本 英介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-218074
公開番号（公開出願番号）：特開2000-046747
出願日： 1998年07月31日
公開日（公表日）： 2000年02月18日
要約：
【要約】【課題】 パターン面を傷付けることなく、正確で定量的な検査を可能とする信頼性に優れた液晶基板の外観検査方法および装置を提供すること。【解決手段】 液晶パネルに使用する薄膜電極5を配設工程中の液晶基板1、あるいは薄膜電極5を配設した液晶基板1の外観検査するにあたり、液晶基板1をその面が略鉛直方向に沿うように支持し、かつ液晶基板1をその面方向に移動自在とするステージ部15と、液晶基板1の薄膜電極配設面1aの裏面1bに参照光を照射する照明部3と、照明部3により照らされた基板裏面1bを撮像する撮像部4とを備える。
請求項（抜粋）：
液晶パネルに使用する薄膜電極を配設工程中の液晶基板、あるいは薄膜電極を配設した液晶基板の外観検査方法であって、液晶基板をその面が略鉛直方向に沿うように支持し、液晶基板の薄膜電極配設面の裏面に参照光を照射し、前記参照光に照らされた基板裏面を撮像手段で撮像し、撮影像に基づき液晶基板の外観検査を行うことを特徴とする液晶基板の外観検査方法。
Fターム (9件)：
2G051AA73
, 2G051AA90
, 2G051AB02
, 2G051AB20
, 2G051BA20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051DA03
, 2G051DA07
