漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：藤巻正憲
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-094376
公開番号（公開出願番号）：特開2000-292301
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月20日
要約：

【要約】【課題】漏れ検査装置の校正をするためのリーク基準器の残留トレーサガスを容易に除去することができる漏れ検査装置及び漏れ検査装置の校正方法を提供する。【解決手段】被検査ワーク7が内部に設置されるチャンバ6と、チャンバ6に接続されたトレーサガス検出器1と、チャンバ6内を真空にする第1の真空ポンプ5と、被検査ワーク7内にトレーサガスを充填するトレーサガス供給源と、チャンバ6に接続されチャンバ6の漏れを校正するリーク基準器11と、リーク基準器11に接続されクリーニングガスをリーク基準器11に供給するクリーニングガス供給手段と、クリーニングガスをリーク基準器11から排出する排出手段と、を有する。

請求項（抜粋）：

被検査ワークが内部に設置されるチャンバと、前記チャンバに接続されたトレーサガス検出器と、前記チャンバ内を真空にする第1の真空ポンプと、前記被検査ワーク内にトレーサガスを充填するトレーサガス供給源と、前記チャンバに接続され前記チャンバの漏れを校正するリーク基準器と、前記リーク基準器に接続されクリーニングガスを前記リーク基準器に供給するクリーニングガス供給手段と、前記クリーニングガスを前記リーク基準器から排出する排出手段と、を有することを特徴とする漏れ検査装置。

Fターム (5件)：

2G067BB38 , 2G067CC11 , 2G067CC13 , 2G067DD17 , 2G067DD18

引用特許：

審査官引用 (2件)

漏れ検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-043638 出願人：日本電装株式会社
ヘリウムリークテスト装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-050270 出願人：株式会社島津製作所

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