透過型電子顕微鏡用薄膜試料のその場作製および観察方法並びにその装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-067341
公開番号（公開出願番号）：特開平7-092062
出願日： 1993年03月04日
公開日（公表日）： 1995年04月07日
要約：

【要約】【目的】透過型電子顕微鏡用の薄膜試料の特定局所領域の薄膜化を該顕微鏡内で試料を観察しながらその場で高精度に作製する。難加工材料の透過型電子顕微鏡試料の作製を容易にして透過型電子顕微鏡の観察を効率化する。【構成】集束イオンビーム照射装置を透過型電子顕微鏡の試料室の前方斜め上方から取付け、サブミクロンオーダー領域の精密な研磨が可能になるようにビーム径は約0.15μmまで絞る手段を設ける。電子顕微鏡で観察しながら研磨できるように電子線とFIBを試料上の同一場所に来るように調整する手段を設ける。透過型電子顕微鏡の走査系および2次電子検出器を集束イオンビーム照射装置の試料の微細研磨加工手段に兼用する。

請求項（抜粋）：

透過型電子顕微鏡で観察中の試料に対し集束イオンビームを照射し、該試料の特定の局所領域を研磨すると同時に観察することを特徴とする透過型電子顕微鏡用の薄膜試料のその場作製および観察方法。

IPC (3件)：

G01N 1/28 , H01J 37/26 , H01J 37/30

FI (2件)：

G01N 1/28 F , G01N 1/28 N

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭60-185352
特開昭52-099495
特開平2-132345

全件表示

前のページに戻る

透過型電子顕微鏡用薄膜試料のその場作製および観察 方法並びにその装置

透過型電子顕微鏡用薄膜試料のその場作製および観察方法並びにその装置