特許
J-GLOBAL ID：200903054406245096
マイクロミラースキャナーとその制御方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池条 重信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-412513
公開番号（公開出願番号）：特開2005-173159
出願日： 2003年12月10日
公開日（公表日）： 2005年06月30日
要約：
【課題】 静電駆動型マイクロミラースキャナーを用いた画像描画装置を構成して多様なスキャニング動作を実施するため、マイクロミラーの揺動を制御してかかるスキャニング動作を実施する際、その静電力を確実に制御でき且つ所要動作を効率よく実施できる構成の提供。【解決手段】 静電駆動用の電極間に電圧を印加する際、目的の揺動動作に応じて、所要パターンに変形させた電圧波形を印加することで、ミラーの揺動速度、揺動パターンを容易に設定でき、その停止、加速、方向変換などの揺動運動を制御することが可能となる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
半導体基板にサスペンションビームで揺動可能に支持するミラーを形成した静電駆動型マイクロミラースキャナーに対して、該ミラーを揺動駆動するために静電駆動用の電極間に電圧を印加する際、その印加する電圧波形を所要パターンに変形するか又は所要パターンを選択して印加し、当該ミラーの揺動運動を制御するマイクロミラースキャナーの制御方法。
IPC (7件)：
G02B26/10
, B41J2/44
, B81B3/00
, G02B26/08
, H04N1/028
, H04N1/036
, H04N1/113
G02B26/10 104Z
, G02B26/10 C
, B81B3/00
, G02B26/08 E
, H04N1/028 Z
, H04N1/036 Z
, B41J3/00 D
, H04N1/04 104Z
2C362BA17
, 2C362BB44
, 2C362DA08
, 2H041AA12
, 2H041AB14
, 2H041AC06
, 2H041AZ02
, 2H041AZ08
, 2H045AB13
, 2H045AB24
, 2H045AB26
, 2H045AB44
, 2H045AB54
, 2H045AB62
, 2H045AB73
, 2H045CA95
, 2H045CB22
, 2H045DA02
, 2H045DA11
, 5C051AA02
, 5C051CA07
, 5C051DB02
, 5C051DB22
, 5C051DB24
, 5C051DB30
, 5C051DC04
, 5C051DC05
, 5C051DC07
, 5C051DE09
, 5C051DE26
, 5C072AA03
, 5C072BA05
, 5C072BA12
, 5C072HA02
, 5C072HA09
, 5C072HA14
, 5C072HB15
, 5C072HB16
, 5C072XA01
, 5C072XA05
