特許

J-GLOBAL ID：200903054411185115

カラーフィルタ欠陥検査方法、及び検査装置、これを用いたカラーフィルタ製造方法

発明者： 中久木 秀樹
出願人/特許権者： 凸版印刷株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-131675
公開番号（公開出願番号）：特開2009-281759
出願日： 2008年05月20日
公開日（公表日）： 2009年12月03日
要約：

【課題】微小な重欠陥を検出可能でありながら、不良とはならない程度の微小な差異を検出することがないカラーフィルタ欠陥検査方法、及びカラーフィルタ欠陥検査装置を提供すること。【解決手段】着色層のパターンが形成されたカラーフィルタの欠陥検査方法であって、カラーフィルタの撮像画像から着色層端部のテーパー形状部を抽出し、該抽出した領域と、該抽出した領域以外の領域とで異なる検査閾値を設定し、欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ欠陥検査方法とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

着色層のパターンが形成されたカラーフィルタ欠陥検査方法であって、 カラーフィルタの撮像画像から着色層端部のテーパー形状部を抽出し、該抽出した領域と、該抽出した領域以外の領域とで異なる検査閾値を設定し、欠陥を検出することを特徴とするカラーフィルタ欠陥検査方法。

IPC (5件)：

G01M 11/00 ,  G01N 21/956 ,  G02F 1/13 ,  G02F 1/133 ,  G02B 5/20

FI (5件)：

G01M11/00 T ,  G01N21/956 Z ,  G02F1/13 101 ,  G02F1/1335 505 ,  G02B5/20 101

Fターム (35件)：

2G051AA73 ,  2G051AB02 ,  2G051AB06 ,  2G051CA03 ,  2G051CA07 ,  2G051CB01 ,  2G051CB02 ,  2G051EA08 ,  2G051EA11 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EB02 ,  2G051ED04 ,  2G051ED15 ,  2G051ED21 ,  2G051ED22 ,  2G086EE10 ,  2H048BA02 ,  2H048BA11 ,  2H048BB02 ,  2H048BB42 ,  2H088EA23 ,  2H088FA12 ,  2H088FA13 ,  2H088FA30 ,  2H088HA12 ,  2H088MA20 ,  2H191FA02Y ,  2H191FA14Y ,  2H191FC41 ,  2H191FC42 ,  2H191FD04 ,  2H191FD05 ,  2H191LA40 ,  2H191MA03

引用特許：

出願人引用 (2件)

• 基板の検査方法および基板の製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-274307   出願人：東レ株式会社
• 検査方法および検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-206620   出願人：松下電器産業株式会社