特許
J-GLOBAL ID:200903054472570305

圧電振動子およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 石井 陽一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-013457
公開番号(公開出願番号):特開2003-218666
出願日: 2002年01月22日
公開日(公表日): 2003年07月31日
要約:
【要約】【課題】 十分に高いキュリー点をもち、しかも、優れた圧電特性を示す圧電基板を有する圧電振動子を提供する。【解決手段】 ビスマス層状化合物を含有する圧電基板と、この圧電基板の両面にそれぞれ形成された振動電極とを有する圧電振動子であって、前記圧電基板の振動電極形成面に加工変質層が実質的に存在せず、前記圧電基板の振動電極形成面において、ビスマス層状化合物のa軸の配向度が12.8%未満である圧電振動子。
請求項(抜粋):
ビスマス層状化合物を含有する圧電基板と、この圧電基板の両面にそれぞれ形成された振動電極とを有する圧電振動子であって、前記圧電基板の振動電極形成面に加工変質層が実質的に存在しない圧電振動子。
IPC (5件):
H03H 9/17 ,  H01L 41/09 ,  H01L 41/187 ,  H01L 41/22 ,  H03H 3/02
FI (5件):
H03H 9/17 B ,  H03H 3/02 B ,  H01L 41/08 C ,  H01L 41/18 101 B ,  H01L 41/22 Z
Fターム (7件):
5J108AA06 ,  5J108BB08 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02 ,  5J108MM08 ,  5J108MM12 ,  5J108MM14
引用特許:
審査官引用 (5件)
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