電気光学素子及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-053069
公開番号（公開出願番号）：特開平10-253932
出願日： 1997年03月07日
公開日（公表日）： 1998年09月25日
要約：

【要約】【課題】信号波形測定装置に用いられて測定の高感度化、高精度化を可能とし、しかも製造が容易な電気光学素子を提供する。【解決手段】電気光学物体1の片面に反射膜4を形成し、他方の面に透明導電膜2及び金属膜を被着させる。リソグラフィを用いたエッチングにより、金属膜を一部選択的に除去し、金属パッド3を残す。ボンディング技術により、金属パッド3に金属細線5をワイヤボンディングする。透明導電膜2に接地電位を与えるのに、接続線を透明導電膜2に接着剤などで固着する接続技術を用いないので、製造が容易になり、小型化できる。電気光学物体1の透明導電膜2側の面を、反射膜4側の面に対して傾斜させるか叉は、透明導電膜2の下地に、電気光学素子側から順に酸化膜,反射防止膜を介在させて、透明導電膜2と反射膜4との間での多重反射を防ぎ、信号波形の測定精度を高める。

請求項（抜粋）：

外部から加わる電界に応じて屈折率が変化する板状の電気光学物体の一方の面には反射膜を備え、他方の面には透明導電膜を備える構造の電気光学素子において、前記透明導電膜上に、金属膜からなるパッドを設けたことを特徴とする電気光学素子。

IPC (4件)：

G02F 1/015 505 , G01R 1/06 , G01R 29/12 , G01R 31/302

FI (4件)：

G02F 1/015 505 , G01R 1/06 F , G01R 29/12 F , G01R 31/28 L

引用特許：

審査官引用 (5件)

電圧センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-215981 出願人：三菱電機株式会社
表面電位センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-263360 出願人：株式会社リコー
特開昭63-305258

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