ガス分析方法及びガス分析装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：志賀正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-091158
公開番号（公開出願番号）：特開平10-281988
出願日： 1997年04月09日
公開日（公表日）： 1998年10月23日
要約：

【要約】【課題】 NH3、SiH4のような吸収干渉がある被測定ガス中の不純物を高感度、高精度で分析するための方法と装置の提供。【解決手段】測定用レーザ光源1と、主成分ガス中の不純物を測定すべき被測定ガスを入れるサンプルセル2と、不純物を含まない主成分ガスであるキャンセル用ガスを入れるキャンセル用セル3と、光源からのレーザ光を第1のレーザ光と第2のレーザ光とに分岐し、該第1のレーザ光を前記サンプルセルに入射するとともに、第2のレーザ光を前記キャンセル用セルに入射する光分岐手段4と、各セルから出射した光の強度を測定する第1,第2の検出器5,6とを備えた光学系と;サンプルセル内に被測定ガスを供給するガス供給手段と;第1の検出器の測定結果を第2の検出器の測定結果から差し引くことにより、被測定ガス中の不純物の吸収スペクトルを算出する処理手段とを備えたガス分光分析装置、およびそれを用いたガス分析方法。

請求項（抜粋）：

測定用レーザ光を第1のレーザ光と第2のレーザ光とに分岐し、第1のレーザ光を、主成分ガス中の不純物を測定すべき被測定ガスを入れたサンプルセルを通しその光強度を測定する第1の光路と、第2のレーザ光を、不純物を含まない主成分ガスであるキャンセル用ガスを入れたキャンセル用セルを通しその光強度を測定する第2の光路とにそれぞれ入射し、第1の光路の測定結果を第2の光路の測定結果から差し引くことにより、被測定ガス中の不純物の吸収スペクトルを測定するガス分析方法であって、前記第1の光路と第2の光路の光路長を同一にし、かつ前記サンプルセル内のガス圧と、キャンセル用セル内のガス圧とを同一にしながら測定を行うことを特徴とするガス分析方法。

引用特許：

審査官引用 (8件)

特開昭63-009842
特開平1-156637
ガス分析計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-023187 出願人：株式会社堀場製作所

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