特許
J-GLOBAL ID：200903054513965824

真空ロボットの取付装置

発明者：
山本 敏隆

山本 敏隆 について


出願人/特許権者：
住友重機械工業株式会社

住友重機械工業株式会社 について


代理人 (1件)： 高矢 諭 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-061031
公開番号（公開出願番号）：特開2000-260850
出願日： 1999年03月09日
公開日（公表日）： 2000年09月22日
要約：
【要約】【課題】 ロボットアームを作動させたり、ロボットハンドを取り外したりせずに、真空ロボットの着脱を可能とし、着脱時のパーティクルの発生も減らす。【解決手段】 搬送室80の真空ロボット取付用開口80Bと、真空ロボット82の取付フランジ82Fの当接面に配設されるOリング83より開口側に、取付ボルト82B用の貫通穴80Dを形成すると共に、前記取付フランジ82Fの該貫通穴80Dと対応する位置に、取付ボルト82B用の非貫通めねじ82Hを形成して、搬送室80の外側から取付ボルト82Bを取外し可能とする。
請求項（抜粋）：
真空気密の密閉構造に構成された部屋の内側に配設されるロボットハンドと、該ロボットハンドを駆動するための、前記部屋の外側に配設される駆動部と、前記部屋の壁に設けられた開口に固定され、前記ロボットハンドを装着したままの状態で、前記部屋から真空ロボットを着脱するための取付フランジを含む真空ロボットの取付装置において、前記開口部と取付フランジの当接面に配設される、気密保持用のシール材と、前記開口部の該シール材より開口側に形成された、取付ボルト用の貫通穴と、前記取付フランジの該貫通穴と対応する位置に形成された、取付ボルト用の非貫通ねじ穴とを有し、前記部屋の外側から取付ボルトを取外し可能としたことを特徴とする真空ロボットの取付装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  H01L 21/304 645
FI (2件)：
H01L 21/68 B ,  H01L 21/304 645 A
Fターム (9件)：
5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031GA43 ,  5F031MA23 ,  5F031NA05 ,  5F031PA24
引用特許：
出願人引用 (3件) 審査官引用 (3件)

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