特許
J-GLOBAL ID:200903054520235955
光変調器
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩橋 文雄 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-238045
公開番号(公開出願番号):特開2001-066559
出願日: 1999年08月25日
公開日(公表日): 2001年03月16日
要約:
【要約】【課題】 光情報処理技術において重要な役割を果たす面型空間光変調器において、光の高利用効率化、利用光波長領域の拡大、高速動作、低電圧動作を実現できる素子を提供することを目的とする。【解決手段】 反射多層膜を構成する二種類の材料のうち、どちらか一方の材料103の膜厚109をすべて光学長にして(2m+1)λ/4(ただし、mは自然数、λは光の波長)に相当する厚さとし、他方の材料102の膜厚をλ/4として反射多層膜を構成し、この反射多層膜の中心付近に屈折率変化層としての役割を担う層104の膜厚を任意の膜厚110とする。この構成により、光の高利用効率化、利用光波長領域の拡大、高速動作、低電圧動作を実現できる。
請求項(抜粋):
第1の材料を含む第1の層と第2の材料を含む第2の層を交互に複数回積層した構成を有する反射多層膜を有し、前記第1の層の膜厚を光学長にして(2m+1)λ/4(ただし、mは自然数、λは光の波長)に相当する厚さとし、前記反射多層膜中の所定の位置に前記第1の層の膜厚以外の膜厚を有する第3の層が挿入されていることを特徴とする光変調器。
Fターム (17件):
2H079AA02
, 2H079AA03
, 2H079AA07
, 2H079AA12
, 2H079BA03
, 2H079BA04
, 2H079CA02
, 2H079CA05
, 2H079DA16
, 2H079EA13
, 2H079EA28
, 2H079EB06
, 2H079EB12
, 2H079HA12
, 2H079HA14
, 2H079HA15
, 2H079HA16
引用特許:
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