基板検査装置及び基板検査方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大塚康徳 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-190726
公開番号（公開出願番号）：特開2000-019213
出願日： 1998年07月06日
公開日（公表日）： 2000年01月21日
要約：

【要約】【課題】効率よく基板検査を行うことのできる装置を提供する。【解決手段】基板上のパターン線の一端において所定のパルス信号を印加し、該パターン線の他端で信号を非接触プローブにて受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導通を検査する基板検査装置であって、所定の時刻に前記パターン線の一端に検査パルス信号を印加し、受信側では、前記検査パルス信号の印加タイミングを受けて、その印加後に、前記プローブにて検出される受信信号の変化を監視することを特徴とする基板検査方法。

請求項（抜粋）：

基板上のパターン線の一端において所定のトランスミッタから信号を印加し、該パターン線の他端で信号を所定のプローブにて受信し、この受信信号に基づいてパターン線の導通を検査する基板検査装置であって、所定の時刻に前記パターン線の一端に検査信号を印加する印加手段と、前記検査信号の印加タイミングを信号ピックアップ手段に報知する報知手段と、前記信号ピックアップ手段において、前記報知を受けた後に、前記プローブにて検出される受信信号の変化を監視する監視手段を具備することを特徴とする基板検査装置。

IPC (5件)：

G01R 31/02 , G01R 31/302 , G01R 31/28 , H05K 3/00 , H05K 13/08

FI (5件)：

G01R 31/02 , H05K 3/00 T , H05K 13/08 C , G01R 31/28 L , G01R 31/28 K

Fターム (9件)：

2G014AA02 , 2G014AA03 , 2G014AA08 , 2G014AA13 , 2G014AB59 , 2G014AC11 , 2G032AA00 , 2G032AF07 , 2G032AK04

引用特許：

審査官引用 (4件)

導電膜検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-085746 出願人：株式会社オプト・システム
特開昭58-216967
特開平1-195380

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