スルホナート誘導体及び潜酸としてのその使用

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：津国肇 , 篠田文雄
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-566624
公開番号（公開出願番号）：特表2005-517026
出願日： 2003年01月28日
公開日（公表日）： 2005年06月09日
要約：

(a)酸の作用で硬化する化合物、又はその溶解度が酸の作用で増加する化合物と;(b)式(Ia)、(Ib)、(IIa)、(IIb)、(IIIa)、(IIIb)、(IVa)、(IVb)、(Va)、(Vb)又は(VIa)〔式中、nは、1又は2であり;mは、0又は1であり;X0は、-〔CH2〕h-X又は-CH=CH2であり;hは、2,3,4,5又は6であり;nが1の場合、R1は、例えば、場合により置換されているフェニル、ナフチル、アントラシル、フェナントリル又はヘテロアリールであり;nが2の場合、R1は、例えば、場合により置換されているフェニレン又はナフチレンであり;R2は、例えば、場合により置換されているR1の意味のうちの1つを有し;Xは、例えば、-OR20、-NR21R22、-SR23であり;X′は、-X1-A3-X2-であり;X1及びX2は、例えば、-O-、-S-又は直接結合であり;A3は、例えば、フェニレンであり;R3は、例えば、R1で示された意味のうちの1つを有し;R4は、例えば、R2で示された意味のうちの1つを有し;R5及びR6は、例えば、水素であり;Gは、とりわけ、-S-又は-O-であり;nが1の場合、R7は、例えば、フェニル(場合により置換されている)であり、nが2の場合、例えば、フェニレンであり;R8及びR9は、例えば、C1〜C18アルキルであり;R10は、R7で示された意味のうちの1つを有し;R11は、とりわけ、C1〜C18アルキルであり;R12、R13、R14、R15、R16、R17及びR18は、例えば、水素又はC1〜C18アルキルであり;R20、R21、R22及びR23は、とりわけ、フェニル又はC1〜C18アルキルである〕で示される化合物とを含む、化学増幅型フォトレジスト組成物は、良好なレジストプロフィールを持つ高い解像度を示す。

請求項（抜粋）：

(a)酸の作用で硬化する化合物、又はその溶解度が酸の作用で増加する化合物と; (b)感光性酸供与体として、少なくとも1種の、式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb又はVIa:

IPC (13件)：

C07C309/68 , C07C309/67 , C07C317/04 , C07C317/14 , C07C323/66 , C07D209/48 , C07D209/76 , C07D333/36 , G02B5/20 , G03F7/004 , G03F7/038 , G03F7/039 , H01L21/027

FI (13件)：

C07C309/68 , C07C309/67 , C07C317/04 , C07C317/14 , C07C323/66 , C07D209/76 , C07D333/36 , G02B5/20 101 , G03F7/004 503A , G03F7/038 601 , G03F7/039 601 , H01L21/30 502R , C07D209/48 Z

Fターム (35件)：

2H025AA01 , 2H025AA02 , 2H025AB03 , 2H025AB13 , 2H025AB16 , 2H025AB20 , 2H025AC04 , 2H025AC05 , 2H025AC06 , 2H025AC08 , 2H025AD01 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BG00 , 2H025CB41 , 2H025CC17 , 2H025FA12 , 2H048BA02 , 2H048BA45 , 2H048BA48 , 2H048BB02 , 2H048BB42 , 4C023GA01 , 4C204BB05 , 4C204BB09 , 4C204CB04 , 4C204CB17 , 4C204DB30 , 4C204EB03 , 4C204FB33 , 4C204GB01 , 4H006AA01 , 4H006AA03 , 4H006AB76

引用特許：

審査官引用 (6件)

オキシム誘導体及びその潜在酸としての使用
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-092758 出願人：チバスペシャルティケミカルズホールディングインコーポレーテッド
ポジ型フォトレジスト組成物
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-107547 出願人：富士写真フイルム株式会社
感熱記録材料
公報種別：公開公報出願番号：特願2001-380363 出願人：富士写真フイルム株式会社

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