特許

J-GLOBAL ID：200903054626632767

走査型プローブ顕微鏡

発明者： 粉川 良平
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 竹本 松司 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-144348
公開番号（公開出願番号）：特開2000-338027
出願日： 1999年05月25日
公開日（公表日）： 2000年12月08日
要約：

【要約】【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、視認性を高め光学顕微鏡観察による位置決めを容易とする。【解決手段】 探針を備えるカンチレバー6と、試料Sを探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナー2と、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッター4とレーザー光保護用のフィルター5の少なくともいずれか一方を、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構3を備える。ビームスプリッターと光保護用のフィルターの両方あるいは一方を光学顕微鏡光路から退避させることによって、光学顕微鏡光路から光学像の光量を減少させる要因を除去し、光学顕微鏡による観察において光量の低減を抑制して視認性を高める。

請求項（抜粋）：

探針を備えるカンチレバーと、試料を探針に対して少なくとも2次元の方向に走査するスキャナーと、カンチレバーの変位を検出する変位検出系とを備える走査型プローブ顕微鏡であって、試料に対してカンチレバーの位置関係を固定した状態において、変位検出系のレーザー光測定光路と試料を観察する光学顕微鏡光路とを分離するビームスプリッターとレーザー光保護用のフィルターの少なくともいずれか一方を、光学顕微鏡光路から退避させる移動機構を備える、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (4件)：

G01N 13/16 ,  G01N 37/00 ,  G01B 7/34 ,  G01B 21/30

FI (4件)：

G01N 37/00 F ,  G01N 37/00 A ,  G01B 7/34 Z ,  G01B 21/30 Z

Fターム (32件)：

2F063AA04 ,  2F063AA43 ,  2F063CA40 ,  2F063DA01 ,  2F063DA04 ,  2F063DB01 ,  2F063DB06 ,  2F063EA16 ,  2F063EA20 ,  2F063EB15 ,  2F063EB23 ,  2F063FA07 ,  2F063ZA01 ,  2F069AA04 ,  2F069AA06 ,  2F069AA60 ,  2F069DD24 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG07 ,  2F069GG52 ,  2F069GG62 ,  2F069HH05 ,  2F069HH09 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ08 ,  2F069JJ15 ,  2F069JJ25 ,  2F069LL03 ,  2F069LL11 ,  2F069MM04 ,  2F069NN02

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 原子間力顕微鏡ユニット
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-188449   出願人：株式会社ニコン
• 光学顕微鏡一体型走査型プローブ顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-325831   出願人：オリンパス光学工業株式会社