特許
J-GLOBAL ID:200903054700653534

外観検査方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦 (外4名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-076942
公開番号(公開出願番号):特開2002-277410
出願日: 2001年03月16日
公開日(公表日): 2002年09月25日
要約:
【要約】【課題】過検出を抑えて精度の高い欠陥検出を行なうことができる外観検査方法を提供する。【解決手段】検査対象の外観を検査する外観検査方法であって、検査対象の画像を取得する画像取得工程と、取得した検査対象画像から検査すべき金属パッド領域を抽出し、それらを特徴量に基づいて分類するパッド分類工程と、分類された各金属パッドごとに実行すべき検査方法を選択する選択工程と、選択された検査方法を用いて前記検査対象の欠陥位置を検出する欠陥検出工程とを具備する。
請求項(抜粋):
検査対象の外観を検査する外観検査方法であって、検査対象の画像を取得する画像取得工程と、取得した検査対象画像から検査すべき領域を抽出し、それらを特徴量に基づいて分類する分類工程と、分類された各領域ごとに、実行すべき検査方法と検査基準を選択する選択工程と、選択された検査方法と検査基準を用いて前記検査対象の欠陥位置を検出する検出工程と、を具備することを特徴とする外観検査方法。
IPC (2件):
G01N 21/956 ,  H05K 3/00
FI (2件):
G01N 21/956 B ,  H05K 3/00 Q
Fターム (14件):
2G051AA65 ,  2G051AB20 ,  2G051CA04 ,  2G051DA01 ,  2G051DA05 ,  2G051DA13 ,  2G051EA08 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051EC01 ,  2G051EC02 ,  2G051EC03 ,  2G051ED01 ,  2G051ED04
引用特許:
審査官引用 (5件)
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