特許
J-GLOBAL ID：200903054711304469
面位置検出方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-068999
公開番号（公開出願番号）：特開平9-236425
出願日： 1996年03月01日
公開日（公表日）： 1997年09月09日
要約：
【要約】【課題】 被検出面の凹凸の影響を受けることなく被検出面の位置を高精度に検出する。【技術手段】 凹凸を有する被検出面の面位置を、該被検出面を相対走査しながら連続的に検出する方法において、前記被検出面を相対走査しながら連続的にその面状態の特徴データを検出する段階と、前記連続的に得られた複数の特徴データを処理しその後の被検出面の面位置検出において該被検出面の位置を測定すべき計測位置を離散的に決定する段階とを設ける。
請求項（抜粋）：
凹凸を有する被検出面の面位置を、該被検出面を相対走査しながら連続的に検出する方法において、前記被検出面を相対走査しながら連続的にその面状態の特徴データを検出する段階と、前記連続的に得られた複数の特徴データを処理しその後の被検出面の面位置検出において該被検出面の位置を測定すべき計測位置を離散的に決定する段階とを有することを特徴とする面位置検出方法。
IPC (3件)：
G01B 21/00
, G01B 11/00
, H01L 21/027
G01B 21/00 A
, G01B 11/00 A
, H01L 21/30 518
, H01L 21/30 526 B
