感光性版用フォトレジストカバーフイルム

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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：香川幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-292951
公開番号（公開出願番号）：特開2000-112133
出願日： 1998年09月30日
公開日（公表日）： 2000年04月21日
要約：

【要約】【課題】フォトレジスト面に接する面の平面性が良く、フォトレジストとの適度な粘着性と剥離性に優れ、異物突起(ゲル、フィッシュアイ、無機物突起)が少なく、取扱性の良好な感光性版用フォトレジストカバーフイルムを提供することを目的とする。【解決手段】フイルムの片面(A面)の平均表面粗さRaが80nm以下、逆面(B面)の平均表面粗さRaが100nm以上の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムから成り、該フイルムの表面濡れ張力が34mN/m以下であることを特徴とする感光性版用フォトレジストカバーフイルム。

請求項（抜粋）：

フイルムの片面(A面)の平均表面粗さRaが80nm以下、逆面(B面)の平均表面粗さRaが100nm以上の無延伸ポリプロピレン系複合フイルムから成り、該フイルムの表面濡れ張力が34mN/m以下であることを特徴とする感光性版用フォトレジストカバーフイルム。

IPC (4件)：

G03F 7/11 501 , B32B 27/32 , C08J 5/18 CES , C08L 23/10

FI (4件)：

G03F 7/11 501 , B32B 27/32 E , C08J 5/18 CES , C08L 23/10

Fターム (3件)：

2H025AA00 , 2H025AB11 , 2H025DA02

引用特許：

出願人引用 (9件)

特開平4-068033
感光製版用フォトレジストカバーフイルム
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-238173 出願人：東レ株式会社
特開平1-179154

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