特許
J-GLOBAL ID：200903054766169196
弾性表面波素子及びその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
野▲崎▼ 照夫
, 三輪 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-318104
公開番号（公開出願番号）：特開2004-153654
出願日： 2002年10月31日
公開日（公表日）： 2004年05月27日
要約：
【課題】耐電力性の高い弾性表面波素子を提供する。【解決手段】弾性表面波素子のくし歯状電極部のくし歯部13a,14aを、Tiからなる第2下地層20、24、Taからなる第1下地層21、25、CuM合金層22、26(ただし、元素MはAg、Sn、Cのいずれか1種または2種以上である)の積層構造にする。これによって、CuM合金層22,26は(111)方位に配向した結晶性を有し、弾性表面波素子のストレスマイグレーション耐性が向上する。【選択図】 図2
請求項（抜粋）：
圧電基板と、前記圧電基板上に薄膜形成された電極部を有する弾性表面波素子において、
前記電極部は、くし歯状電極部及び前記くし歯状電極部に接続された接続電極部を有し、前記くし歯状電極部は、Taからなる第1下地層と、前記第1下地層の上面に接して積層されたCu層またはCuM合金層(ただし、元素MはAg、Sn、Cのいずれか1種または2種以上である)を有することを特徴とする弾性表面波素子。
IPC (3件)：
H03H9/145
, H03H3/08
, H03H9/25
H03H9/145 C
, H03H3/08
, H03H9/25 C
5J097AA26
, 5J097FF03
, 5J097HA02
