特許

J-GLOBAL ID：200903054769689824

X線分析装置

発明者： 佐藤 義通 ,  大澤 澄人
出願人/特許権者： 株式会社堀場製作所
代理人 (1件)： 藤本 英夫
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-209054
公開番号（公開出願番号）：特開2001-033407
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月09日
要約：

【要約】【課題】 極めて操作性に優れるとともに、非常に短時間で高精度な測定を行うことができるX線分析装置を提供すること。【解決手段】 試料5を、互いに直交するX方向およびY方向の二つの方向に移動させることができる試料ステージ4に載置し、前記試料5をモニター用カメラ13によってモニターし、そのモニターによる試料像5Aをコンピュータ14に付設された表示装置15の画面15a上に表示させるとともに、測定に際して、前記試料5の画像5Aの所定の位置を、コンピュータ14に付設された入力装置16によってクリックすると、前記試料ステージ4が移動し、試料5をその所定箇所がX線照射位置に位置するように移動させるようにしたX線分析装置において、測定位置の指定時、前記表示装置15の画面15a上に表示されている試料像5Aの測定対象箇所を2回クリックし、そのクリック時における試料像5Aの座標位置に基づいて補正係数を求めるようにした。

請求項（抜粋）：

試料を載置する試料ステージと、前記試料に放射線を照射する放射線源と、この放射線源による放射線照射により前記試料において生ずる特性X線を検出するX線検出器と、このX線検出器の出力に基づいて試料中に含まれる元素とその強度を判別するパルスプロセッサと、このパルスプロセッサからの信号が入力されるコンピュータと、このコンピュータからの制御信号に基づいて前記試料ステージを所定の方向に移動させるステージコントローラと、前記試料の像をモニターするためのモニター用カメラと、このモニター用カメラによる試料像を表示する表示装置とを備えたX線分析装置において、最初の測定位置の指定時、前記モニター用カメラによって得られる試料像が表示されている表示装置の画面上において前記試料画像における測定対象箇所をクリックして前記試料像を移動し、次いで、この移動した試料像における測定対象箇所を再度クリックして試料像を再度移動し、画面上の測定位置、1回目のクリックを行う際の試料像の位置および2回目のクリックを行う際の試料像の位置に基づいて補正係数を求め、以後、測定に際して、前記補正係数を乗じた距離だけ試料ステージを移動させるようにしたことを特徴とするX線分析装置。

IPC (4件)：

G01N 23/223 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/00 ,  G21K 5/02

FI (4件)：

G01N 23/223 ,  G01N 23/225 ,  G21K 5/00 R ,  G21K 5/02 X

Fターム (18件)：

2G001AA01 ,  2G001AA03 ,  2G001BA04 ,  2G001BA05 ,  2G001BA11 ,  2G001BA14 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA09 ,  2G001GA01 ,  2G001GA06 ,  2G001HA13 ,  2G001JA12 ,  2G001JA13 ,  2G001JA20 ,  2G001KA01 ,  2G001PA11 ,  2G001SA12

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-175648
  
• 走査型電子顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-264792   出願人：株式会社ニコン
• 観察装置及びその倍率調整方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-353956   出願人：富士通株式会社