化学反応装置とその運転方法

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：池内寛幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-246073
公開番号（公開出願番号）：特開平8-108131
出願日： 1994年10月12日
公開日（公表日）： 1996年04月30日
要約：

【要約】【目的】本発明は薬液の劣化と減少を回避することにより、食刻精度の低下を防止して、安定な生産を長時間可能とする化学反応装置を提供する。【構成】薬液をシャワー状またはスプレイ状に噴射するか、あるいは薬液中に浸漬させながら基板を処理する反応室1と、前記薬液の循環用のポンプ4とタンク10と、前記処理薬液を液切りする手段18、23と、前記薬液処理後の基板を水洗・乾燥する手段とを有する化学反応装置であって、基板の薬液処理が終了したことを検知する手段31と、前記検知手段31からの制御信号で前記薬液タンク10に新規な薬液を一定量供給する手段33とを備え、基板の処理毎に持ち出し量と同量の新規な薬液を追加補給することにより、薬液濃度の変化が低減して化学反応が安定するとともに、薬液の交換時期を長くできる。

請求項（抜粋）：

処理薬液をシャワー状またはスプレイ状に噴射するか、あるいは薬液中に浸漬させながら基板を処理する反応室と、前記薬液の循環用のポンプとタンクと、前記処理薬液を液切りする手段と、前記薬液処理後の基板を水洗・乾燥する手段とを有する化学反応装置であって、基板の薬液処理が終了したことを検知する手段と、前記検知手段からの制御信号で前記薬液タンクに新規な薬液を一定量供給する手段とを備えてなることを特徴とする化学反応装置。

IPC (8件)：

B05D 7/00 , C23F 1/08 101 , H01L 21/027 , H01L 21/304 341 , H01L 21/306 , H05K 3/06 , H05K 3/18 , H05K 3/26

FI (2件)：

H01L 21/30 569 E , H01L 21/306 J

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭62-211653
シャワー型枚葉式現像装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-043732 出願人：シャープ株式会社
多成分系薬液処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-233717 出願人：島田理化工業株式会社

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